精密機械加工是在嚴(yán)格控制的環(huán)境條件下，使用精密機床和精密量具和量儀來實現(xiàn)的。加工精度達到和超過 0.1微米稱超精密機械加工。位置所依據(jù)的基準(zhǔn)稱為設(shè)計基準(zhǔn)。在工序圖上用來確定本工序被加工表面加工后的尺寸、位置所依據(jù)的基準(zhǔn)稱為工序基準(zhǔn)。形狀精度用來限制加工表面宏觀幾何形狀誤差，位置精度用來限制加工表面與其基準(zhǔn)間的平行度、垂直度、同軸度等相互位置誤差。

值得提醒的是，精密零部件的模具表面拋光處理工作，不僅僅只收到工藝工序和拋光設(shè)備的影響，同時還會受到零件材料鏡面度的影響，位置所依據(jù)的基準(zhǔn)稱為設(shè)計基準(zhǔn)。在工序圖上用來確定本工序被加工表面加工后的尺寸、位置所依據(jù)的基準(zhǔn)稱為工序基準(zhǔn)。機械零件加工容易出現(xiàn)的誤差：測量誤差：零件在加工時或加工后進行測量時，由于測量方法、量具精度以及工件和主客觀因素都直接影響測量精度。

加工時工件定位所用的基準(zhǔn)，稱為定位基準(zhǔn)。作為定位基準(zhǔn)的表面（或線、點），在道工序中只能選擇未加工的毛坯表面，這種定位表面稱粗基準(zhǔn).在以后的各個工序中就可采用已加工表面作為定位基準(zhǔn)，這種定位表面稱精基準(zhǔn)。微機械由于具有能夠在狹小空間內(nèi)進行作業(yè)，而又不擾亂工作環(huán)境和對象的特點，在航空航天、儀器、生物等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用潛力，并成為納米技術(shù)研究的重要手段，因而受到高度重視并被列為21世紀(jì)關(guān)鍵技術(shù)。應(yīng)使工藝過程有較高的生產(chǎn)加工效率，通過加工得到成品能盡快正常使用；三是應(yīng)設(shè)法降低制造成本；四是要能夠減輕人工作業(yè)強度，以及還能夠讓加工安全進行。